PECVD kemencerendszer
Ez a termék egy közepes méretű, csúsztatható PECVD rendszer. Ez a PECVD Tube Furnace System plazma rádiófrekvenciás tápegységgel, háromutas tömegáramú gázkeverő rendszerrel (1-100 SCCM, 1-200 SCCM és 1-200 SCCM tartományban), 60 mm átmérőjű nyitott csöves kemencével (vákuumkarimával és csatlakozó csövekkel) és mechanikus szivattyúval van felszerelve.
Termékinformációk
| Termékmodell | Csúszó PECVD csöves kemencerendszer — OYS-1200C-II-60-PECVD (Φ60) |
| A termék fő paraméterei | Tápellátás: 220V 50/60Hz; Névleges teljesítmény: 3,1 kW; Maximális üzemi hőmérséklet: 1200°C (<0,5 óra); Folyamatos üzemi hőmérséklet: ≤1100°C; Javasolt fűtési sebesség: ≤10°C/perc; Fűtési zóna hossza: 440mm; Hőelem: K típusú |
| Főbb jellemzők | Az RF tápegység plazmajavítást érhet el, és jelentősen csökkentheti a kísérleti hőmérsékletet; gyors hőmérséklet-emelkedés és -csökkenés érhető el a kemencetest elcsúsztatásával; a film feszültsége az RF tápegység frekvenciájával szabályozható; a sztöchiometria folyamatszabályozással szabályozható; különféle anyagok, például SiOx, SiNx, SiOxNy és (a-Si:H) rakhatók le |
| Fűtőelem | Vas-króm-alumínium ötvözet huzal 0Cr21Al6Nb |
| A kemence cső mérete | Kvarccső átmérője opcionális: Φ60 |
| Hőmérséklet-szabályozó rendszer | Tartalmaz egy YD858 hőmérséklet-szabályozót; PID szabályozás és önbeállító beállítás, intelligens 50 szegmenses programozható vezérlés, túlmelegedés és kiégés riasztási funkciókkal; hőmérséklet-szabályozás pontossága: ±1 ℃ |
| Plazma RF tápegység | 300W RF tápegység; Kimeneti teljesítmény: 0-300W állítható; RF frekvencia: 13,56 MHz; Automatikus illesztés; Zajszint < 50dB; Hűtési mód: Léghűtés; Bemeneti feszültség: 180~250V |
| Vákuumos tömítő karima interfész | Standard konfiguráció: egy pár rozsdamentes acél vákuumkarima és magas hőmérsékletű szilikon tömítőgyűrűk; a kimeneti karimák háromnyílású K16, KF25 és Φ8.2 karimák; a kimeneti karima a KF25 adapterhez csőrugóval csatlakoztatható, majd a vákuumszivattyúhoz. |
| vákuumszivattyú | Használjon két forgólapátos mechanikus vákuumszivattyút TRP-12; a vákuum foka elérheti a 10-2 torrt; A vákuumcsatlakozó tartozékok KF25 bilincsekkel és rozsdamentes acél csőmembránnal vannak felszerelve a csőkemence és a vákuumszivattyú csatlakoztatásához |
| Gázellátó rendszer | Háromutas tömegáramú keverőrendszer - GYS-3Z; Tápellátás: 220V 50/60Hz; Mérési tartományok: 1-100 SCCM, 1-200 SCCM, 1-500 SCCM; Egy mechanikus nyomásmérő van felszerelve az előlapra, és csatlakoztatva van a keverőcsőhöz; Nyomásmérő tartomány: -0,1-0,15 MPa; Keverőtartály mérete: Φ80*120mm; A belső csatlakozó cső Φ6.35 |
| A kemence szerkezete | A kemence teste balra és jobbra, az RF tápegység pedig balra és jobbra mozgatható. A kemence teste és az RF tápegység ugyanarra a csúszósínre van felszerelve, és ugyanazt a kvarccsövet használják. |
| Tanúsítási szabványok és alapvető összetevők | Az egész gép alapelemei megfelelnek a CE, UL, MET és egyéb tanúsítási szabványoknak; az alapelemek közé tartoznak az ABB elektromos alkatrészek, UL tanúsítvánnyal rendelkező vezetékek és kábelek, Omega, Yudian, Continental műszerek stb. |
Kapcsolat
Zhejiang Nengcheng Crystal Fiber Co., Ltd.
Zhejiang Nengcheng Crystal Fiber Co., Ltd. 2015-ben alakult. Professzionális vállalkozás, amely ultra könnyű, energiatakarékos, magas hőmérsékletű anyagokat fejleszt és gyárt, valamint kísérleti elektromos kemencéket, ipari elektromos kemencéket és nem szabványos, egyedi elektromos kemencéket értékesít. Professzionális PECVD kemencerendszer Gyártók és PECVD kemencerendszer Gyár. A vállalat a "minőségen keresztüli túlélés, hírnéven keresztüli fejlődés" elvét vallja, és a "praktikusság, integritás és hatékonyság" üzleti filozófiáját vallja. Elkötelezettek vagyunk amellett, hogy átfogó és kiváló minőségű berendezésmegoldásokat nyújtsunk olyan iparágakban működő ügyfelek számára, mint a kerámia, a kohászat, az elektronika, az üveg és a vegyipar. Emellett egyetemek, kutatóintézetek, valamint ipari és bányászati vállalatok számára is nyújtunk olyan szolgáltatásokat, mint a porpörkölés, a kerámia szinterezés és a magas hőmérsékletű kísérletek. Ugyanakkor arra is törekszünk, hogy előmozdítsuk a Nengcheng könnyű, energiatakarékos és környezetbarát, magas hőmérsékletű alumínium-oxid szálának stratégiai fejlesztését az új kemencék területén, és arra törekszünk, hogy nemzetközileg vezető, fejlett, magas hőmérsékletű berendezéseket gyártó iparági szolgáltatóvá váljunk. PECVD kemencerendszer Egyedi.
Legfrissebb hírek
-
Bevezetés a Vákuumos hőkezelés A vákuumos hőkezelés egy fejlett kohászati eljárás, amelyet az ipari alkatrészek mechanikai tulajdonságainak és tartósságának javítására használnak. Az anyagok vákuumban történő hevítésével minimálisra csökken az oxidáció és a szennyeződés, ami precíz és egyenletes anyagteljesítményt eredményez. Ezt a technikát széles körben alkalmazzák az olyan iparágakban, mint a repülőgépipar, az autóipar, a szerszámgyártás és az elektronika. Fokozott anyagszi...
