PECVD csőkemence
A PECVD csőkemence egy plazma gázfázisú leválasztásos csőkemence rendszer, amely egy kvarc reakciókamrából, egy rádiófrekvenciás tápegységből, egy többcsatornás gázkeverő rendszerből, egy vákuumegységből és egy reakcióvezérlő rendszerből áll. A kemence nagy tisztaságú alumínium-oxid rostanyagot használ, és a felületet importált, magas hőmérsékletű alumínium-oxid bevonattal vonják be, hogy meghosszabbítsák a műszer élettartamát és javítsák a fűtési hatékonyságot. A hagyományos kémiai gőzleválasztás elé egy rádiófrekvenciás indukciós eszközt szerelnek fel, amely ionizálja a reakciógázt és plazmát állít elő. A plazma nagy aktivitása felgyorsítja a reakciót. Jó egyenletessége és ismételhetősége, nagy felületen tud filmet képezni, alacsony hőmérsékleten is tud filmet készíteni, kiváló lépésfedő képességgel rendelkezik, könnyen szabályozható a film összetétele és vastagsága, valamint könnyen iparosítható. Széles körben használják vékony filmek, például grafén, szilícium-monoxid, szilícium-nitrid, szilícium-oxinitrid és amorf szilícium (A-SI: H) növesztésére.
| A kemencecső mérete (MM) | Üzemi hőmérséklet (°C) | Vákuum fokozat | Teljesítmény (KW) | Feszültség | Fűtőelemek | Fűtési sebesség |
| Φ60*2200 | 1100 °C | -0,1 MPA 10PA 6,67*10- 4PA | 3 | 220/380V | Ellenállás vezeték | 1-20°C/PERC |
| Φ80*2200 | 3 | |||||
| Φ100*2200 | 4 | |||||
| Φ120*2200 | 5 |

-
Alapfelépítése a Vákuum kemence A vákuum kemence több integrált rendszerből áll, amelyeket úgy terveztek, hogy szabályozott alacsony nyomású körülmények között működjenek. A magszerkezet vákuumkamrát, fűtési rendszert, szigetelőegységet, vákuumszivattyúzó egységet és vezérlőrendszert tartalmaz. Mindegyik komponens sajátos szerepet játszik a stabil hő- és légköri környezet fenntartásában a hőkezelés során. A vákuumkamra jellemzően rozsdamentes acélból vagy szénacélból készül, és úg...



